@inproceedings{paperid:1052572,
author = {میلانی شیروان, کامل and ماموریان, مجتبی and تیمور بهزادی and بهنام پورجلالی},
title = {بررسی تاثیر سرعت ورودی، مولار گاز ورودی و دمای سطح در  لایه نشانی شیمیایی بخارسیلیسیم در محیط پلاسما},
booktitle = {کنفرانس بین المللی یافته های نوین پژوهشی در علوم شیمی و مهندسی شیمی},
year = {2015},
location = {تهران, ايران},
keywords = {لایه نشانی به کمک پلاسما(PECVD)، شبیه سازی، سیلیسیم، گاز سیلان},
}