%0 Conference Proceedings %T بررسی پدیده ی میرایی لایه ی فشرده ی سیال در سیستم های میکروالکترومکانیکی %A خوشروی غیاثی, عمران %A طهانی, مسعود %J دومین همایش الکترونیکی پژوهش های نوین در علوم و فناوری %D 2015