%0 Conference Proceedings %T Investigation of Rarefied Gas Flow in Micro/Nano Cavity by Fokker Planck Approach %A RezapourJaghargh, Vahid %A Mahdavishahri, َAmirmehran %A Roohi, Ehsan %J بیست و ششمین همایش سالانه بین­ المللی انجمن مهندسان مکانیک ایران %D 2018