عنوان : ( بررسی تاثیر سرعت ورودی، مولار گاز ورودی و دمای سطح در لایه نشانی شیمیایی بخارسیلیسیم در محیط پلاسما )
نویسندگان: کامل میلانی شیروان , مجتبی ماموریان , تیمور بهزادی , بهنام پورجلالی ,
Full Textچکیده
لایه نشانی شیمیایی بخار به کمک پلاسما یکی از پرکاربردترین روش های لایه نشانی است که معمولاً در دماهای کمتر از 350 درجه سانتی گراد صورت می‌گیرد. در این روش، بجای انرژی گرمایی از ذرات انرژی دار برای انجام واکنش، استفاده می شود تا لایه نشانی بتواند در دمای پایین و با سرعت قابل قبولی صورت گیرد. در این سیستم، توان الکتریکی با ولتاژ نسبتاً بالا و در فشار پایین برای یونیزه کردن گاز فراهم می‌شود که باعث شکستن مولکول های گاز به الکترون‌ها و یون‌ها می‌شود. در مقاله حاضر لایه نشانی فیلم نازک سیلیکن (Si) در رآکتور PECVD شبیه سازی شده و فرآیند تشکیل Si بر روی زیر لایه مورد بحث و بررسی قرار گرفته است. ورودی رآکتور، گاز سیلان (SiH4)، به عنوان گاز اصلی واکنش دهنده می‌باشد که محیط پلاسما را ایجاد می‌کند. در این شبیه سازی محیط گازی، محیطی پیوسته، جریان گاز جریانی آرام و سرعت ورودی گاز برابر با 1/0 متر بر ثانیه فرض شده است. از اثرات تابش صرف نظر شده و گازها در محیط پلاسما ایده آل در نظر گرفته شده‌اند. در نتیجه این شبیه سازی که با استفاده از نرم افزار فلوئنت انجام شده است، نرخ لایه نشانی Si و همچنین پروفیل لایه نشانی محاسبه شده و اثر 3 پارامتر مختلف سرعت ورودی، مولار گاز و دمای سطح روی لایه نشانی مورد بحث و بررسی قرار گرفته است.
کلمات کلیدی
, لایه نشانی به کمک پلاسما(PECVD), شبیه سازی, سیلیسیم, گاز سیلان
@inproceedings{paperid:1052572,
author = {میلانی شیروان, کامل and ماموریان, مجتبی and تیمور بهزادی and بهنام پورجلالی},
title = {بررسی تاثیر سرعت ورودی، مولار گاز ورودی و دمای سطح در لایه نشانی شیمیایی بخارسیلیسیم در محیط پلاسما},
booktitle = {کنفرانس بین المللی یافته های نوین پژوهشی در علوم شیمی و مهندسی شیمی},
year = {2015},
location = {تهران, ايران},
keywords = {لایه نشانی به کمک پلاسما(PECVD)، شبیه سازی، سیلیسیم، گاز سیلان},
}
%0 Conference Proceedings
%T بررسی تاثیر سرعت ورودی، مولار گاز ورودی و دمای سطح در لایه نشانی شیمیایی بخارسیلیسیم در محیط پلاسما
%A میلانی شیروان, کامل
%A ماموریان, مجتبی
%A تیمور بهزادی
%A بهنام پورجلالی
%J کنفرانس بین المللی یافته های نوین پژوهشی در علوم شیمی و مهندسی شیمی
%D 2015
