@article{paperid:1037376,
author = {غضنفر, حمید and طهانی, مسعود},
title = {سیستم های میکرو الکترومکانیک},
journal = {مهندسی مکانیک},
year = {2013},
volume = {22},
number = {89},
month = {November},
issn = {1605-9719},
pages = {61--69},
			numpages = {8},
keywords = {میکرو الکترو مکانیک، میکرو تیر، نیروی کاسمیر ، فن‌کارمان، میرایی فشاری، نیروی الاستیک},
}