%0 Journal Article
%T Comprehensive Electromechanical Analysis of MEMS Variable Gap Capacitors
%A H.Nabovati
%A  Mafinezhad, Khlil
%A  A.Nabovati
%A  Keshmiri, Sayyed-Hossein
%J مهندسی برق و الکترونیک ایران
%@ ۲۶۷۶-۵۸۱۰
%D 2008