%0 Journal Article
%T شبیه‌سازی مونت کارلوی فرایند لایه نشانی با لیزر پالسی و بررسی تغییر فاصله هدف تا زیرلایه بر مشخصات لایه‌ها
%A رشیدیان وزیری, محمدرضا
%A  افضل مصطفوی حسینی
%A  علی هاشمی زاده عقدا
%A  نرگس علیمرادیان
%J اپتوالکترونیک
%@ 2783-1752
%D 2018