پژوهشهای بسیاری برای ساخت انواع میکروپمپهای مکانیکی که دارای مکانیزم، جنس و عملگرهای متفاوتاند، صورت گرفته است. میکروپمپها دارای لایه های متفاوتی هستند و تحریک لایه میانی نقش اساسی در پمپ سیال دارد. لایه های میکروپمپ از طریق فرآیندهای گرمایی به یکدیگر چسبانده میشوند. میکروپمپها از نظر مکانیزم عملکردی و نوع محرک غشا میانی به چندین نوع تقسیم میگردند. یک نوع از این میکروپمپها، دارای کانال همگرا و واگرا به همراه یک محفظه است. مکانیزم عملکرد این میکروپمپها بصورتی است که با اعمال فشار بر روی غشا میانی و ایجاد افت هدهای متفاوت توسط کانالهای همگرا و واگرا بر روی سیال، سیال پمپ میگردد. میکروپمپی که در این آزمایش طراحی و ساخته شده است دارای کانالهای همگرا و واگرا و جنس لایه های آن از مواد گرمانرم پلاستیکی است. همچنین برای تحریک غشا میانی از هوای فشرده و فشار خلا استفاده گردیده است. در طی آزمایش حداقل و حداکثر فشار مثبت اعمالی بر روی غشا میانی به ترتیب 20 kPa و 220 kPa است. حداکثر نرخ حجمی )دبی( سیال 276 μl/min در فشارمثبت 180 kPa و در فشار خلا 5 kPa گزارش شده است. حداکثر ارتفاعی که میکروپمپ توانایی پمپ سیال را دارد، برابر با 60 سانتی متر آب است.

کلمات کلیدی