با رشد روزافزون فناوری‌های ساخت ابزار و سیستم ها در مقیاس نانو و میکرو، توجه محققان به‌سمت طراحی و ساخت حسگرها و عملگرهایی برای کنترل و پردازش رفتار این سیستم ها در مقیاس های کوچک جلب شده است. سیستم‌های میکرو الکترو مکانیکی حاصل تلاش و تحقیق محققان در حوزه‌های مهندسی مکانیک، برق، شیمی و متالورژی در مسیر ساخت میکرو حسگرها و میکرو عملگر هاست. این سیستم ها - که آنها را به‌اختصار ممز می نامند - تحولی شگرف در زمینة کنترل ابزار و سیستم های مکانیکی و الکتریکی و همچنین ارتباط بین این ابزار و مدارهای مجتمع را رقم زده اند. این سیستم ها با توجه به ساختار و عملکرد آنها سیستم هایی با فیزیک چندگانه به‌شمار می‌روند. جامع‌بودن و پیچیدگی های موجود به‌خاطر ترکیب چند زمینة مختلف فیزیکی در این ابزار ها تحلیل و بررسی آنها را دشوار کرده و امکان تحلیل و طراحی یک نمونة کامل با بررسی تمام جنبه های آن را غیر ممکن ساخته است. نیروهای الکترومغناطیسی به‌عنوان نیروی اعمالی، وجود نیروی میرایی ویسکوز و قوانین حاکم بر فشار یک سیال نیوتونی و غیرنیوتونی در فضای موجود بین صفحة متحرک و زمینه، وجود نیروهای الاستیک بازگرداننده، ارتعاش و جابه‌جایی تیر و همچنین تأثیر نیروهای بین‌مولکولی در حرکت این ابزارها سبب ترکیب‌ و کوپل‌شدن چندین زمینة انرژی در این سیستم ها خواهد شد. با توجه به ماهیت فیزیکی این ابزارها، جنبه های تحقیقی بی‌شماری در زمینة طراحی، بهینه‌سازی و افزایش دقت این سیستم ها در برابر محققان وجود خواهد داشت. در این مقاله سعی شده است برخی از این جنبه ها به‌همراه گزارشی از کارهای انجام‌شده روی آنها مطرح شود.

کلمات کلیدی